基本信息
| 标准名称： | 硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法 |
| 英文名称： | Test method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon |
| 中标分类： | 冶金 >> 金属理化性能试验方法 >> 金属无损检验方法 |
| ICS分类： | |
| 替代情况： | 被GB/T 14144-2009代替 |
| 发布部门： | 国家技术监督局 |
| 发布日期： | 1993-02-06 |
| 实施日期： | 1993-10-01 |
| 首发日期： | 1993-02-06 |
| 作废日期： | 2010-06-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 中科院上海冶金研究所 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 1900-01-01 |
| 页数： | 平装16开， 页数：7， 字数：10千字 |
适用范围
本标准规定了硅晶体中间隙氧含量径向变化的测量方法。本标准适用于室温电阻率大于01Ω·cm的硅晶体中间隙氧含量径向变化的测量。
前言
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目录
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所属分类： 冶金 金属理化性能试验方法 金属无损检验方法